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等离子净化器又称低温等离子废气净化器。
本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
等离子净化器原理有一些复杂，低温等离子净化器在进行工作的时候，在外加电场的作用下，介质放电会产生出大量的携能电子轰击污染物分子，让污染物分子电离、解离和激发，之后引发出一系列较为复杂的物理、化学反应，这时大分子污染物就会转变成小分子安全物质，同时也会使有毒有害的物质成为 无毒无害的或者是低毒低害的物质，最终使得污染物能够被降解清除。
等离子净化器中使用到的等离子技术是在近几年中开发出来的专门用于工业除硫脱硝的新技术，它具有着节约能源和效率高的特点，如今等离子技术已经被用到了室内空气净化器中，用来净化室内的空气。等离子净化器是利用放电的方式产生出等离子体，之后激活有害气体的分子，定向反应去除空气中的有害气体，最终实现对空气的净化。
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